在電力設備運行過程中，當局部放電發生時，各種帶電粒子如電子、正負離子等，在電場的激勵下具有的能量一般都比高聚物的鍵能大，這些帶電質點撞擊到介質氣隙壁上，就會打斷絕緣體原本穩固的化學鍵。同時局部放電點上的介質發熱可產生極高的溫度，使絕緣體產生熱裂解或促進氧化裂解，這些都破壞了絕緣體的分子結構。

高壓開關設備都是一種組合式電器，其構成的材料種類非常多，如環氧樹脂、六氟化硫、工程塑料等。這樣就導致了局部放電產生的原因有很多，概括起來主要有以下幾種：

①絕緣材料制作工藝上的缺陷。

由于絕緣結構和工藝上種種因素的影響，絕緣體內可能存在殘存的氣泡或雜質，而氣體的介電常數往往比液體或固體材料的介電常數要小。在交變電場下，電場強度的分布與介電常數成反比。所以如果在液體或固體介質內含有氣泡時，氣泡內的電場強度要比周圍介質的高，而擊穿場強卻比液體和固體低得多，這樣氣泡會首先被擊穿發生放電，而其他介質則依然處于絕緣狀態，這樣就形成了典型的局部放電；另外雜質的存在則會使得周圍的電場分布集中，進而累積電量產生放電。

 

②電場分布的不均勻。

導體表面有毛刺或較尖的棱角會使得電場集中而發生局部放電。而在開關柜制作、裝配等過程中均有可能帶入金屬顆粒，柜體內的這些顆粒積累電荷的能力比較強，導致所在區域的電場畸變而發生放電；開關柜絕緣體表面灰塵過多或不夠光潔，也會引起爬電距離不夠而導致局部放電；甚至在接地的殼體上如果焊縫毛糙，表面有氣孔或夾渣，同樣會使得電場分布不均勻而產生局部放電。

③電介質的不均勻。

隨著絕緣技術的發展，大氣絕緣和復合絕緣的高壓金屬封閉開關設備是目前使用最廣泛的產品。但正是由于復合絕緣技術的的使用，導致了絕緣材料各部分的介電性能的差異，而絕緣材料本身因制造過程帶進的氣泡和雜質，也進一步使得電介質分布不均勻，在高壓環境下就會引起放電。
電壓、溫度、濕度、絕緣條件、外界環境都會影響局部放電。